浅谈节能型成套加热器应加热器
节能型真空高温感应加热器，（成套加热器 发热管http://www.shlaiheng.com/）用于半导体生产设备，其内腔为真空室的圆柱形筒体的底端固定在底板上而顶端装有可上升打开的顶盖；所述真空室中设有安装在底板上的行星转动机构，它的各转轴顶端分别装有由感应发热材料制成的基片座，该基片座下方设有隔热保温座，下端为敞口而可将所述基片座罩住的感应发热罩外周覆有由非感应发热材料制成的隔热保温层并用拉杆吊装在所述顶盖上，所述圆柱形筒体外周装有电感线圈。它能使基片散热小、加温快，将感应加热线圈放在真空室外，简化了结构，减少了对真空室的污染。
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